Wissen Ofentechnik

InertgasprozesseStickstoff & Formiergas

Inertgasprozesse schützen sensible Bauteile vor unerwünschten Reaktionen mit Luftsauerstoff. Wärmekammern können dafür mit Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre ausgelegt werden.

1969Ofenbau seit
Luftführungprozessangepasst
SonderbauStandard möglich
Ersatzteileauch für Altanlagen
Inertgasprozesse Stickstoff & Formiergas
Technisches Wissen

Kernaussagen

Inertgasprozesse schützen sensible Bauteile vor unerwünschten Reaktionen mit Luftsauerstoff. Wärmekammern können dafür mit Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre ausgelegt werden.

  • Elektronische Leistungssteller und Halbleiterwafer.
  • Temperaturbereiche aus realen Anwendungen von 250–420 °C.
  • Gasführung, Dichtigkeit und Sicherheitskonzept früh klären.
  • Regelung und Dokumentation der Prozessbedingungen.
  • Gemeinsame technische Auslegung mit der Fachabteilung.

Ofenprojekt technisch klären

Gemeinsame Planung mit der Fachabteilung: Bauteil, Temperatur, Luftführung, Beschickung, Atmosphäre und Regelung.