Branchen & Anwendungen

Elektronik & HalbleiterLeistungssteller, Wafer, Schutzgas

Elektronik- und Halbleiterprozesse benötigen kontrollierte Erwärmung, dokumentierbare Temperaturführung und bei Bedarf Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre.

1969Ofenbau seit
Luftführungprozessangepasst
SonderbauStandard möglich
Ersatzteileauch für Altanlagen
Elektronik & Halbleiter Leistungssteller, Wafer, Schutzgas
Anwendungsbereich

Typische Aufgaben

Elektronik- und Halbleiterprozesse benötigen kontrollierte Erwärmung, dokumentierbare Temperaturführung und bei Bedarf Stickstoff- oder Formiergasatmosphäre.

  • Elektronische Leistungssteller in Wärmekammern.
  • Halbleiterwafer bei 250–420 °C.
  • Stickstoff- und Formiergasatmosphäre für sensible Bauteile.
  • Silikonkleber, Epoxidharze und Vergussmaterialien.
  • Temperaturdokumentation über Regler, Schreiber und Produkttemperaturfühler.

Ofenprojekt technisch klären

Gemeinsame Planung mit der Fachabteilung: Bauteil, Temperatur, Luftführung, Beschickung, Atmosphäre und Regelung.